ตอบสนองความต้องการความแม่นยำระดับไมครอนด้วยผลเสริมกันของการจัดการอุณหภูมิโรงงานและการควบคุมการเปลี่ยนรูปเนื่องจากความร้อนของ Thermo-Friendly Concept
เครื่อง MX-55X ของโอคุม่าเป็นเครื่องแมชชีนนิ่งเซ็นเตอร์แบบแนวตั้งเครื่องแรกที่เราติดตั้ง หลังจากนั้นในตอนที่เราเพิ่มจำนวนเครื่องจักร เราได้รู้จักกับ Thermo-Friendly Concept (TFC) และตระหนักว่า "นี่เป็นสิ่งที่ดี" ในเวลานั้นผมทำงานเกี่ยวกับการขึ้นรูปใบพัดกังหันเพื่อผลิตพลังงานความร้อน ถึงแม้ว่าผมจะควบคุมเครื่องปรับอากาศให้ดีเพียงใด ขนาดชิ้นงานในตอนเช้าและตอนบ่ายก็จะเปลี่ยนไป 20-30 μm เนื่องจากการขยายและการหดตัวของเครื่องจักรแมชชีนทูล ทำให้ผมต้องทำการปรับชดเชยเครื่องจักรหลายครั้ง แต่หลังจากที่ได้ติดตั้งเครื่อง MB-56V ซึ่งใช้แนวคิด TFC แล้ว ความแม่นยำเชิงมิติก็บรรลุตามที่คาดหวังและงานปรับชดเชยก็ลดลงเป็นอย่างมาก
ชิ้นส่วนหลายชิ้นของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และจอ LCD ทำจากอลูมิเนียมและมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนเป็นสองเท่าของเหล็ก ดังนั้นชิ้นส่วนพวกนี้จึงขยายและหดตัว 24 µm ต่อเมตรต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 1°C ชิ้นงานถูกขึ้นรูปจากอลูมิเนียม แต่เกณฑ์ความราบผิวนั้นจะมีความเข้มงวดเป็นพิเศษ ตัวอย่างเช่น ที่โรงงาน Takaono ซึ่งขึ้นรูปชิ้นส่วนขนาดใหญ่ ความราบผิวของแชมเบอร์ที่ต้องการคือ 10 µm หรือน้อยกว่า เพื่อที่จะรักษาความแม่นยำนี้ได้อย่างมีเสถียรภาพ เราตั้งเป้าไปที่ครึ่งหนึ่งของความแม่นยำที่ต้องการ
สำนักงานใหญ่ / โรงงาน | 2141 Onohara-cho, Izumi City, Kagoshima Pref, Japan |
---|---|
ก่อตั้ง | พ.ศ.2531 |
ธุรกิจ | เน้นไปที่การผลิตชิ้นส่วนสูญญากาศสำหรับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และ LCD, ออกแบบและผลิตชิ้นส่วน อุปกรณ์ และเครื่องจักรที่มีความแม่นยำ,ออกแบบ ผลิต และจำหน่ายอุปกรณ์ทางอุตสาหกรรมและทางการแพทย์, พัฒนาและจำหน่ายซอฟต์แวร์ |